不锈钢材料在航空机械、医疗器械、食品工业用具等方面有着广泛的应用。 为获得高表面质量、高光泽度和高使用寿命， 通常对不锈钢产品进行精密加工。 化学抛光和电化学抛光是不锈钢镜面加工的主要方法[1,2]。 虽然化学抛光和电化学抛光可以获得高质量的表面粗糙度，但加工以化学、电化学液体为主要介质，加工过程中消耗大量的磷酸、盐酸、硝酸、铬酸等化学溶液及在抛光液中发挥黏度调节、缓蚀、消泡等作用的化学添加剂，对环境造成严重的威胁。不锈钢精密加工工艺的绿色化程度亟待提高。 本文以平面马氏体不锈钢 SUS440C不锈钢 为加工对象，以水为加工介质，使用游离磨粒加工方法进行了机械研磨、抛光加工，加工后工件表面达镜面。

　　1 实验设备

　　加 工 设 备 使 用 智 能 型 超 精 密 研 磨/抛 光 机Nanopoli-100，该设备为修整环型研磨/抛光设备，其结构与原理如图 1 所示。加工时工件粘贴在基片上，被加工面朝下置于载物孔内。 修整环一方面驱动工件旋转，一方面对研磨/抛光盘进行在线修整。 采取砝码加压方式， 通过调整砝码数量控制加工载荷。研磨/抛光液的供给由蠕动泵实现。 该设备的主要技术参数如表 1 所示。

　　实验试样采用 SUS440C 不锈钢， 该材料在刀具、轴承、喷嘴、模具、量具和泵体零部件等方面有广泛应用， 其主要参数如表 2 所示。 试样初始表面粗糙度在 Ra0.2μm 左右.

　　表面粗糙度测量仪器为 Mahr Perthometer S2 表面粗糙度测量仪， 扫描长度 5.6mm， 采样点数11,200，垂直分辨率 0.8nm.